純水硅含量測定儀是一種基于光電比色法技術(shù)的智能水質(zhì)監(jiān)測儀器，它可以用于控制超純水的硅含量（≤0.1mg/L），保障芯片生產(chǎn)用水純度，避免硅污染影響芯片良率。

儀器介紹

上海玄天XT-SiO32-型純水硅含量測定儀是一種基于光電比色法技術(shù)的智能水質(zhì)監(jiān)測儀器，可用于實時監(jiān)測水體中硅酸根離子（SiO?2?或溶解態(tài)SiO?）的濃度，主要應(yīng)用于電力與能源行業(yè)、化工與工業(yè)水處理、電子半導(dǎo)體與新能源行業(yè)等領(lǐng)域。具體包括監(jiān)測電廠中鍋爐給水、蒸汽冷凝水中的硅酸根含量、半導(dǎo)體超純水的硅含量檢測中。

純水硅含量測定儀典型應(yīng)用場景

半導(dǎo)體與電子制造

超純水系統(tǒng)中硅污染控制，硅表用于控制超純水的硅含量（≤0.1mg/L），保障芯片生產(chǎn)用水純度，避免硅污染影響芯片良率。

技術(shù)指標(biāo)

產(chǎn)品型號：XT-SiO32-

測量范圍：0-200ug/L/ppb或0-2000ug/L/ppb

顯示方式：彩色液晶屏顯示，耐溫至80℃不變黑

精 確  度：±2%FS

重  復(fù) 性：不大于1%

穩(wěn) 定  性：基線漂移：使用空白校準(zhǔn)，不影響準(zhǔn)確度

化學(xué)漂移：不大于1%讀數(shù)/月（視試劑穩(wěn)定性而異）

試劑種類：3種

溫補范圍：0～60℃

運行條件：流量100—300mL/min，溫度5～50℃，壓力14Kpa，水樣不大于5微米（無膠狀物，無油脂）

環(huán)境溫度：0-45℃，85%RH不結(jié)露

繼 電 器：標(biāo)配2組，可擴展6組，常開觸點

電流輸出：4～20mA輸出

數(shù)字輸出：RS-485數(shù)字通訊

供電電源：AC220V，50HZ

安裝方式：面板開孔/壁掛安裝